大流量气体质量流量计MFM100是一款新的大流量的气体质量流量计，量程大，体积小。

工作原理

层流差压式

介质要求 Applicable   Media

无腐蚀性气体

气体种类 Gas   Type

多种

量程 Full   cale (N2 equivalent)

50-1000SLPM

测量范围 Measurement range

200:1

准确度 Accuracy

    ±2% F.S.    （更高精度可定制）

重复精度 Repeatability

±1% F.S.

响应时间 Typical   response time

10ms

预热时间 Warm-up   time

1s

分辨率 Resolution ratio

0.1

累计流量

8位整数（显示屏）

耐压 Maximum Pressure

1MPa

工作温度范围 Operating temperature range

0~60℃

湿度范围 Relative humidity range

0-98%无凝露

气路接头类型 Process connections

快插、快拧、G1/2

气体接触材质 Material

Al,   SUS316

密封材质 Seals

FKM

防护等级 Ingress protection (housing)

IP40

安装方式 Mounting

任意方向安装

固定孔 Mounting holes

M4*5mm

重量 Weight

360g

电气连接接口类型 Electrical connection

通讯方式

RS485（Modbus）

输出方式

NPN,PNP

电源 Power requirements

12-24Vdc

标况 STP   reference conditions

默认20℃，1atm（温度可设置）

软件 Software

有